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近日,中國電科產(chǎn)業(yè)基礎研究院在金剛石散熱材料領域取得進展,自主研發(fā)的大尺寸低成本自支撐金剛石晶圓實現(xiàn)關鍵技術突破、產(chǎn)品規(guī)模化量產(chǎn)。
金剛石導熱率可達銅的5倍以上,具備優(yōu)異的熱傳導、絕緣與力學穩(wěn)定性,可高效快速導出高功率半導體器件工作產(chǎn)生的集中熱量,顯著降低器件結溫、提升工作穩(wěn)定性,大幅延長器件使用壽命,是解決激光器、微波器件、電力電子裝備與高算力芯片散熱瓶頸的核心材料。
面對大尺寸金剛石晶圓制備的行業(yè)難題,中國電科產(chǎn)業(yè)基礎研究院研發(fā)團隊持續(xù)攻關,突破低應力金剛石晶圓生長、高品質超精細加工、自支撐結構制備等一系列關鍵核心技術,研制的金剛石晶圓產(chǎn)品尺寸規(guī)格、材料性能、成本控制均達到行業(yè)先進水平,可作為高性能散熱載體與襯底材料使用。目前,該金剛石晶圓及配套散熱產(chǎn)品已在激光器、微波器件等重點領域開展應用驗證,為相關領域升級換代提供關鍵材料支撐。