【光明日報】國內首臺12英寸臥式爐設備成功發貨
來源：新聞中心
發布時間：2026年04月09日 編輯：新聞中心
隨著半導體產業對12英寸晶圓需求的快速增長，核心熱處理設備自主發展已成為支撐半導體先進制程高質量發展的關鍵之一。近日，電科裝備旗下中電科紅太陽光電公司迎來產業化發展新成果，國內首臺12英寸臥式爐設備順利發往客戶現場。該設備的成功研制，標志著國產半導體臥式熱處理設備在先進制程領域取得重要突破，為半導體產業鏈供應鏈韌性和安全水平提供強力支持。
本次發貨的12英寸臥式爐設備精準對標行業先進制程發展趨勢，直擊行業痛點，重點攻克了臥式爐溫場均勻性、流場均勻性、自動化控制及顆粒控制等技術卡點，全面滿足了專用臥式爐設備大尺寸晶圓處理、優異溫度均勻性及高運行穩定性等產線關鍵性能要求。同時，該設備率先實現與客戶端天車（OHT/AGV）系統的自動化對接，適配半導體領域關鍵熱處理工藝，有效完成設備自動化集成，關鍵技術指標達國際先進水平，切實保障了大尺寸晶圓高質量生產制造能力。
未來，電科裝備將堅持“產業強企”發展戰略，集中優勢資源攻堅行業關鍵核心技術，以硬核科技實力護航產業發展，為提升國家戰略科技力量、實現高水平科技自立自強筑牢原始創新根基。
